壓電（Piezo）
何謂壓電？
壓電表示壓電元件（Piezoelectric Element、Piezoelectric Device），壓電元件是指通過施加力（壓力）產生電壓（壓電效應），或與之相反，通過施加電壓產生變形（逆壓電效應）的元件。
壓電元件使用具有壓電效應的壓電材料。施力時，（+）正離子、（-）負離子的位置會移動，產生（+）和（-）電荷的偏移（電極化），從而產生電壓。
利用壓電效應的主要用途是傳感器，利用逆壓電效應的主要用途是執行機構。
壓電材料的種類
壓電材料大致分為單晶、陶瓷、薄膜等。
羅姆采用的是使用鋯鈦酸鉛（PZT）的薄膜壓電。
PTZ取自元素符號（PbZrxTi1-xO3）（0<x<1）的首字母，壓電性能非常強，稱得上是壓電元件的主角。
薄膜壓電和塊體壓電
大致將厚度約為幾μm的叫作薄膜壓電（壓電薄膜），幾十μm以上的叫作塊體壓電（厚膜壓電）。
利用薄膜壓電可以實現元件的小型化、集成化、高精度化、低功耗化。
薄膜PZT的成膜方法
生成薄膜PZT的方法有溶膠凝膠法、濺射法、MOCVD法等。下表匯總了其各自的特點。
| 溶膠凝膠法 | 濺射法 | MOCVD法 | |
|---|---|---|---|
| 將溶膠狀態的液體涂布在電路板上，通過加熱、燒成使其成膜。為了獲得所需的膜厚，基本上需要將上述循環重復多次 | 用高能Ar離子撞擊目標，使撞擊產生的目標物質附著在電路板上成膜。 | 向反應室內通入化合物氣體，利用溫度和等離子體促進氣體化學反應，成膜溫度較低。 | |
| 壓電性能 | 非常好 | 非常好 | 不確定 |
| 吞吐量 | 一般 | 好 | 差 |
| 可靠性 | 非常好 | 一般 | 好 |
| 均一性 | 非常好 | 好 | 好 |
| 極化穩定性 | 一般 | 好 | 一般 |
| 費用 | 一般 | 一般 | 一般 |
| 應用 | Actuator （1～3μm） |
Actuator or Sensor （1～5μm） |
FeRAM （＜100nm） |
羅姆的薄膜壓電MEMS代工為實現融合自有薄膜壓電和LSI微細加工技術的小型、節能、高性能產品，提供從試制、開發到量產的全程支持。
下頁是 關于壓電相關術語 語的簡要總結。
