薄膜壓電MEMS壓電相關術語
壓電相關術語
關于壓電相關術語的簡要說明。
| 術語 | 說明 |
|---|---|
| 壓電(Piezo) | 指壓電元件（piezoelectric element、piezoelectric device） |
| 壓電效應 | 通過施加力（壓力）產生電壓的現象 |
| 逆壓電效應 | 通過施加電壓產生變形的現象 |
| 壓電元件 | 利用壓電效應、逆壓電效應的零件、元件 |
| 傳感器 | 利用科學原理將現象和信息等轉換為電信號等的裝置 |
| 執行機構 | 將電等能源轉換為機械運動，用于運行設備的驅動裝置 |
| 離子 | 指因電子過剩或缺失而攜帶電荷的原子 |
| 壓電材料 | 表現壓電性的結晶性物質的統稱 |
| 壓電單晶 | 材料內部的晶體結構均勻連續的壓電材料 |
| 壓電陶瓷 | 擁有晶粒結構或疇壁結構的壓電體 |
| 晶粒結構 | 在多晶體中，2個以上的小晶體之間存在的界面 |
| 疇壁結構 | 晶體內存在極化方向不同的邊界的結構 |
| 極化 | 置于電場或磁場時產生正負電化，或是產生磁極的現象 |
| PZT | 指鋯鈦酸鉛（PbZrxTi1-xO3）（0<x<1） |
| 濺射 | 使高能粒子撞擊金屬表面，利用飛出的原子進行制膜的方法 |
| CSD | 通過涂布、燒成金屬有機酸鹽或化合物溶液形成薄膜的方法 |
| 溶膠凝膠法 | CSD的一種。通過對溶膠狀態的液體進行加熱、燒成來得到薄膜的方法 |
| 溶膠狀態 | 以液體為分散介質的膠體（例：肥皂水、漿糊、蛋清、牛奶、蛋黃醬等） |
| 凝膠狀態 | 溶膠狀態喪失流動性后的狀態 |
| MOCVD | 有機金屬氣相沉積法，使用有機金屬和氣體作為原料的晶體生長方法 |
| 占板面積 | 占有面積，這里指設置裝置時使用的面積 |
| 壓電體 | 指通過施加應力產生極化（電壓）的介電體 |
| 熱釋電體 | 即使不從外部施加電場，也可以自發極化的壓電體 |
| 鐵電體 | 從外部施加電場可以使極化方向反轉的熱釋電體 |
| 薄膜壓電 | 指壓電材料的厚度約為幾μm的壓電元件 |
| 塊體壓電 | 指壓電材料的厚度為幾十μm以上的壓電元件 |
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下頁是關于MEMS及其關鍵技術的簡要說明。
